国家知识产权局信息显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请一项名为“一种静电卡盘的电源控制系统及方法”的专利，公开号CN121886951A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本申请提供了一种静电卡盘的电源控制系统及方法；该系统包括高压电源、极性翻转模块和控制模块，极性翻转模块设置有两个切换开关组，每个切换开关组的输入端对应连接高压电源的一个输出端，每个切换开关组中的输出端分别连接静电卡盘的第一输入端和第二输入端；控制模块在确定需要切换输出至静电卡盘的直流高压电压极性后，控制两个切换开关组中各控制开关之间的通断状态组合，形成放电回路对高压电源的输出端进行放电以及在放电完成后翻转高压电源输出至静电卡盘的直流高压电压的极性。这样的电路结构设计仅通过两个切换开关组控制电路的复用，先后实现放电回路和极性的翻转，既减少了电路中开关切换时能量的消耗，还降低了硬件成本。

天眼查资料显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2650万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市华芯半导体装备技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息14条，专利信息39条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。